特征 是電解拋光或化學(xué)拋光無(wú)法處理的樣品*外層表面拋光的*合適的設(shè)備。 它是一種離子研磨設(shè)備,也是電解拋光或化學(xué)拋光后精加工的理想選擇。 它不需要用于離子研磨的特殊樣品制備(通過(guò)薄切片機(jī)等進(jìn)行切片制備)。 與FIB設(shè)備相比具有優(yōu)異的。 基本規(guī)格 離子源 方法 冷陰極筆裝置 加速電壓 2-8kV(1kV級(jí)) 束流 高達(dá) 150 μA 光束直徑 φ4mm 光束對(duì)準(zhǔn) 導(dǎo)向治具 銑削率 *50nm/min(8kV/Si襯底) 工作氣體 Ar氣(99.9%以上) 帶針閥的手動(dòng)型 腔室部分 內(nèi)徑 φ160 毫米 x 深度 140 毫米 樣本量 * φ50mm / t20.5mm 用于 嵌入樹(shù)脂 φ32mm / t17.5mm(使用支架) 樣品臺(tái) 高度 0 至 10 mm 可變(安裝樣品時(shí)調(diào)整) 偏心 * ± 4 mm(安裝樣品時(shí)調(diào)整) 傾斜 0°/60°/80°3檔 轉(zhuǎn)速 大約 15 rpm(固定) 真空泵 TMP 67L / 秒 (@ N 2 ) 反相 20升/分鐘 安裝 尺寸 身體 280 (W) / 320 (D) / 460 (H) 毫米 反相 156 (W) / 296 (D) / 200 (H) 毫米 重量 身體 約30公斤 反相 約10公斤 需要 電源 單相 100V 50 / 60Hz 10A 帶 GND 3 極插頭規(guī)格
特征
基本規(guī)格
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特征
基本規(guī)格
帶針閥的手動(dòng)型
嵌入樹(shù)脂 φ32mm / t17.5mm(使用支架)
電源
帶 GND 3 極插頭規(guī)格